目前，廢氣處理的主要方法有燃燒法、吸收法、吸附法、生物法、光催化法、低溫等離子法等。
 燃燒法 
   燃燒法是基于廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是通過燃燒將廢氣中可氧化的組分轉化為無害物質，在廢氣中含純碳氫化合物的情況下，即轉化為co2和h2o。燃燒法處理有機廢氣的方法主要為：直接燃燒法、熱力燃燒法、蓄熱式燃燒法和催化燃燒法。
 吸收法 
   吸收凈化法是廢氣治理中一種重要的常用的方法，它是利用廢氣中各混合組分在選定的吸收劑中溶解度的不同，或其中一種或多種組分與吸收劑中活性組分發(fā)生化學反應，達到將有害物從廢氣中分離出來、凈化廢氣目的的一種方法。很多工業(yè)廢氣可用吸收凈化法治理,如含SO2、H2S、HF、鹵代烴等廢氣以及含惡臭物廢氣。
吸附法 
  吸附法屬于一種傳質過程，物質內部的分子和周圍分子有互相吸引的引力，但物質表面的分子，其中相對物質外部的作用力沒有充分發(fā)揮，所以液體或固體物質的表面可以吸附其他的液體或氣體，尤其是表面面積很大的情況下，這種吸附力能產生很大的作用，所以工業(yè)上經(jīng)常利用大面積的物質進行吸附，使其中的污染物質被吸著于固體表面而分離的方法。吸附可分為物理吸附、化學吸附和生物吸附等。物理吸附劑和吸附質之間在分子間力作用下產生的。不產生化學變化。而化學吸附則是吸附劑和吸附質之間發(fā)生化學反應，生成化學鍵引起的吸附，因此化學吸附選擇性較強。另外，在生物作用下也可以產生物吸附。
吸附再生法 
  低溫加熱再生法。對于吸附沸點較低的低分子碳氫化合物和芳香族有機物的  
飽和炭，一般用 100～200℃蒸汽吹脫使炭再生，再生可在吸附塔內進行。脫附后的有機物蒸汽經(jīng)冷凝后可回收利用。常用于氣體吸附的活性炭再生。
生物法     
生物凈化技術的實質是附著在濾料介質中的微生物在適宜的環(huán)境條件下，利用廢氣中的有機成分作為碳源和能源，維持其生命活動,并將有機物分解為二氧化碳、水、無機鹽和生物質等無害的物質。  生物法是一種經(jīng)濟有效環(huán)境友好的VOCs治理方法，主要適用于低濃度有機廢氣的治理。
光催化技術     
光催化技術是一種利用新型的復合納米高科技功能材料的技術?，F(xiàn)今的光催化劑以TiO2 為主，當紫外線光源在反應器內部持續(xù)照射時，依據(jù)半導體的特性，其價帶上的電子吸收光子能量后躍遷到導帶上，電子—空穴對可將吸附在催化劑表面的羥基或水還原為(HO•)[3]，同時將氧分子還原為超氧陰離子(•O2-)，它也可以與水中無機離子或部分有機物反應生成(OH•)，羥基自由基具有較高的氧化還原電位，能無選擇地將水中難降解的污染物氧化為水、二氧化碳等無機小分子。
低溫等離子法  
低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質的第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到分解污染物的目的。